1、放大倍数：4倍-100万倍；2、最低分辨率：1nm；3、加速电压：200V-30KV；4、样品室直径：300mm宽，420mm深。
2主要功能编辑
1、配备BSE探头可以观察不同组分的样品表面形貌成分相图。2、配备能谱仪可以对样品表面缺陷进行成分分析。
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2021/4/29 14:50:58
1、放大倍数：4倍-100万倍；2、最低分辨率：1nm；3、加速电压：200V-30KV；4、样品室直径：300mm宽，420mm深。
2主要功能编辑
1、配备BSE探头可以观察不同组分的样品表面形貌成分相图。2、配备能谱仪可以对样品表面缺陷进行成分分析。
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