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表面缺陷分析仪技术指标

返回列表 来源： 发布日期：2021-04-29

1、放大倍数：4倍-100万倍；2、最低分辨率：1nm；3、加速电压：200V-30KV；4、样品室直径：300mm宽，420mm深。


2主要功能编辑


1、配备BSE探头可以观察不同组分的样品表面形貌成分相图。2、配备能谱仪可以对样品表面缺陷进行成分分析。


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