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1、放大倍数:4倍-100万倍;2、最低分辨率:1nm;3、加速电压:200V-30KV;4、样品室直径:300mm宽,420mm深。
2主要功能编辑
1、配备BSE探头可以观察不同组分的样品表面形貌成分相图。2、配备能谱仪可以对样品表面缺陷进行成分分析。
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